Optysk ûntwerp hat in breed oanbod fan tapassingen yn it semiconductorfjild. Yn in fotolitografysmasine is it optysk systeem ferantwurdlik foar it fokusjen fan 'e ljochtstraal dy't troch de ljochtboarne útstjoerd wurdt en it projektearje op' e silisiumwafel om it circuitpatroan te eksposearjen. Dêrom is it ûntwerp en optimisaasje fan optyske komponinten yn it fotolitografysysteem in wichtige manier om de prestaasjes fan 'e fotolitografyske masine te ferbetterjen. De folgjende binne guon fan 'e optyske komponinten dy't brûkt wurde yn fotolitografysmasines:
Projeksje doelstelling
01 It projeksjeobjektyf is in wichtige optyske komponint yn in litografysmasine, meastentiids besteande út in searje linzen ynklusyf konvex linzen, konkave linzen en prisma's.
02 Syn funksje is om it circuitpatroan op it masker te krimpjen en it te fokusjen op 'e wafel bedekt mei fotoresist.
03 De krektens en prestaasjes fan 'e projeksjedoelstelling hawwe in beslissende ynfloed op' e resolúsje en ôfbyldingskwaliteit fan 'e litografysmasine
Spegel
01 Mirrorswurde brûkt om de rjochting fan ljocht te feroarjen en it nei de juste lokaasje te rjochtsjen.
02 Yn EUV-litografysmasines binne spegels benammen wichtich om't EUV-ljocht maklik troch materialen opnomd wurdt, dus moatte spegels mei hege reflektiviteit brûkt wurde.
03 De oerflakkreakens en stabiliteit fan 'e reflektor hawwe ek in grutte ynfloed op' e prestaasjes fan 'e litografysmasine.
Filters
01 Filters wurde brûkt om net-winske golflingten fan ljocht te ferwiderjen, it ferbetterjen fan de krektens en kwaliteit fan it fotolitografyproses.
02 Troch it passende filter te selektearjen, kin der foar soargje dat allinich ljocht fan in spesifike golflingte yn 'e litografysmasine komt, wêrtroch't de krektens en stabiliteit fan it litografyproses ferbetterje.
Prisma's en oare komponinten
Derneist kin de litografysmasine ek oare optyske auxiliary komponinten brûke, lykas prisma's, polarisators, ensfh., Om oan spesifike litografyske easken te foldwaan. De seleksje, ûntwerp en fabrikaazje fan dizze optyske komponinten moatte de relevante technyske noarmen en easken strikt folgje om de hege presyzje en effisjinsje fan 'e litografyske masine te garandearjen.
Gearfetsjend is de tapassing fan optyske komponinten op it mêd fan litografysmasines as doel om de prestaasjes en produksje-effisjinsje fan litografysmasines te ferbetterjen, en dêrmei de ûntwikkeling fan 'e mikro-elektroanyske produksjesektor te stypjen. Mei de trochgeande ûntwikkeling fan litografytechnology sil de optimisaasje en ynnovaasje fan optyske komponinten ek grutter potinsjeel leverje foar it meitsjen fan chips fan folgjende generaasje.
Foar mear ynsjoch en saakkundich advys, besykje ús webside ophttps://www.jiujonoptics.com/om mear te learen oer ús produkten en oplossingen.
Post tiid: Jan-02-2025
